光學儀器分辨率
光學儀器分辨率是指光學儀器在測量圖像中投影的距離或位置的大小。分辨率的單位是厘米或毫米級(單位為毫米),與被測物體表面的大小有關。分辨率以米為單位地表示。其主要內容有像素點(lndc)、像素點(lndk)、視角(lndc)等。
含義 編輯本段
分辨率是測量物體表面大小的一個重要參數,它與物體表面的大小成正比。光學儀器測量物體表面尺寸時,往往用分辨率來表示物體表面的大小,從而得到物體不同的大小。例如,一架照相機用一張紙來代替玻璃來進行成像。如果紙張上的紙都不一樣長或是寬。那么測量物體表面尺寸時,就會用到這個參數。用厘米或者毫米來表示物體的尺寸時,會用到分辨率這個參數。
1、測量物表面大小時,必須首先要明確,其大小不是精確的數字,而是一種近似數值。
這就要求用分辨率來進行控制,精度要高于0.01毫米,而不能高于0.0001毫米。這樣才能保證測量的結果準確無誤。所以分辨率一般是指測量物表面大小時的誤差值。
2、通常,測量物表面的大小時,所用的數據越精確越好,但所要用到的數據越小,所以,用單位毫米來表示時就必須使用厘米級。
例如,在用厘米級來測量時,需要用到毫米來表示,因為毫米測量的是標準長度,而厘米級測量則是按照毫米計算的精度來計算。而在用厘米來計算時,為了保證測量結果的可靠性,必須以毫米來進行計算。用毫米表示的時候,是以毫米作為單位“厘米”來計算。而用厘米級表示時,則要用厘米來計算。
3、如用厘米(mm)表示物體的尺寸時,在一個小物體上的測量值不一定是厘米(mm),而是厘米(mm)表示。
因此,在一張白紙上,在一張紙上成像的距離就是在厘米。測量厘米(mm)與其面積的比值就是厘米(mm)之間的距離。例如,在玻璃容器上用厘米來表示,玻璃容器長20厘米,直徑25厘米。那么就可以用每平方米玻璃容器所用的寬度作為該容器高度。
測量要求 編輯本段
分辨率是物體投影的距離或位置的大小,是一個具有一定參數的量,其大小與分辨率有關。分辨率不同,投影的距離或位置大小也不同,因此,測量時要注意保持影像的完整性和準確度。由于分辨率的測量是通過測量被測物的位置或距離來實現的,因此必須準確地計算被測物的空間位置或距離大小才能得到正確客觀的測量結果,因此在計算時必須嚴格地遵循正確的測量要求。否則,會導致測量結果的錯誤。為了確保準確地測量要求,測量前必須了解被測物的位置大小、空間位置等有關信息。
1、要求被測物的形狀符合測量要求,以便于準確地計算其距離。
測量中,必須確保測量數據的準確性,否則會導致測量結果的不準確。同時,還必須保證被測物之間有一定的距離以便于計算。例如,為了計算被測物外表面間的距離,需要用 X射線衍射光譜儀來測量。
2、對于直徑較小,空間很小的零件來說,應該使用中心距不變(一般為中心距不變)來確定,以保證其空間誤差最小。
例如,測得孔的中心距為0.8 mm,中心距為0.35 mm,則孔的中心距為:其中: a.b. m.
3、對于直徑較大的零件來說,為了保證誤差最小化,必須采用適當的中心距不變方法來確定其體積和投影位置,從而保證其空間誤差最小化;
在直徑較小的零件中,通常采用中心距不變方法,即在測量前,將被測量物的中心距根據測量區(qū)域進行適當的放大或縮小,從而使誤差最小化或接近于零。對于直徑較大的零件,如果在實際測量中采用中心距不變方法時,中心距不變方法通常有兩種:(1)中心距在固定位置直接加減數倍;(2)中心距在變化位置加減數倍。常用常用方法有:中心距不變(中心距隨尺度變而變化)方法、中心距不變(中心距隨幾何尺寸變而變化)方法以及中心距不變(中心距隨幾何尺寸變而變化)方法(如前三種方法之一)。
4、在實際操作中,由于光學儀器通常采用最小可變倍率(一倍)來記錄分辨率,因此使用最小可變倍率需要嚴格地遵守一般測量要求,即在對已知被測物尺寸的尺寸范圍內進行測量時,被測物必須保持完好。
在測量工作完成后,必須檢查被測物是否損壞,則需要更換測量儀器,重新進行測量。對于被測物已損壞或者不能保持完整的情況下,只能進行小幅、小型化和高分辨率等高精度分辨率的測量。另外,需要注意的是,測量精度不同,則也會導致分辨率不同,如在尺寸為1000 mm×1000 mm的儀器上,測量精度通常要求為±0.01 mm;在尺寸為10000 mm×1000 mm的儀器上,測量精度要求為±0.01 mm;而對于尺寸為5000 mm×1000 mm的光學儀器,則測量精度通常要求為±0.01 mm。
5、為了保證測量結果正確,還必須保持被測物與光學儀器之間、與零件之間或被測物與傳感器附近等一系列測量表面的完整無損和準確度。
在光學測量中,被測物被分別測量,如果被測物各部分之間沒有互相重合,光學儀器與被測物間、零件之間或傳感器附近就會產生較大誤差,不能保證整個光學儀器和被測物之間無相互重合現象。為了避免這種情況,測量時一定要盡量避免光學儀器與被測物之間發(fā)生重合現象。當光學儀器中安裝有某種傳感器時,傳感器周圍必須保證整個傳感器具有足夠的準確度。例如,當被測物與傳感器附近有相互重合現象時就必須保持一定距離才能確保對整個光學儀器和被測物之間沒有相互重合現象,才能保證整個光學儀器與被測物之間無相互碰撞和不能重合現象。通常情況下,對于同一鏡片上不同位置的多個區(qū)域都應測量同一個光學儀器,并且要盡量使每個區(qū)域內每一個區(qū)域都有一個不同位置(通常指在被測物與傳感器間)的重復位置(即每個被測物與傳感器附近有多個重復區(qū)域)。
如何選擇 編輯本段
光學儀器的分辨率,在單位時間內的分辨率越高。在不影響光學測量結果的前提下,選擇合適的分辨率能夠提高光學測量結果的準確性和高效性。一般光學儀器的分辨率可分為高寬、中等、低等。高寬是指儀器的分辨率小于0.7微米;低寬是指儀器的分辨率小于1微米;中等和低寬是指儀器的分辨率與儀器的測量精度成正比;低矮和矮寬是指儀器的分辨率與儀器的測量精度成反比;高矮和矮寬通常用“高寬”來表示。其中:“高寬”是指較高和較矮之間的差值;“中等”是指儀器最大分辨率為0.7微米;“低”是指儀器最小分辨率為0.75微米;“中”是指儀器最大分辨率為0.75微米;“低矮”是指儀器最大分辨率為0.75微米;“低矮”是指儀器最小分辨率為0.75微米。
1、選擇適合自己產品的分辨率。
為了便于人們更好地了解儀器的分辨率,我們還應對儀器的分辨率進行一個估算,即把儀器的最小像素與其最高分辨率相比較,如果二者相差過大,那么儀器分辨率就應大于其最高分辨率,反之儀器分辨率應小于其最低分辨率,以確保儀器分辨率滿足所要求的精度。比如,某一分度尺上所顯示為100 mm時,其最小像素點小于100,則可認為這款分度尺是適合于生產要求的分度尺。如果將100 mm換算成100×100,則儀器分辨率將等于100×100=720 mm。這樣,每一種分度尺上所顯示的分度量值與其最終精度相比較都會減少1/3。因此在選擇儀器分辨率時要注意分度筆與分度尺這兩個工具對儀器分辨率指標值的確定影響很大。
2、儀器在不同場合中,采用何種分辨率會有所不同。
不同的分辨率會產生不同的測量結果,因而需要用不同的測量手段對被測物進行測量。例如,對于高寬分辨率,通常會選用反射面高的儀器。在顯微鏡的應用中,如果一支光學顯微鏡是按照一定比例安裝在圓筒內,那么其分辨率一般都會較高。如果一支光學顯微鏡是用反射面為小部分并且位于圓筒內的一組透鏡組成,那么其反射分辨率一般都不會很高,那么采用光學顯微鏡一定不會有較大的問題出現。
3、不同的測量場合,需不同的分析計算和技術要求。
在光學測量中,所需的分辨率與儀器實際尺寸,如精度,所需光路,照明,鍍膜等因素有關。而實際工程中,常需要較高的測量精度和較低的儀器及鍍膜等因素控制成本而使用較低的分辨率,例如在精密零件的檢測中,為了得到更好的光學結果所采用的各種分辨率值也會相應變化。光學儀器的分辨率在光學測量中經常是與光學性能、被測物體的大小以及被測物對衍射光譜和光路性能不同等因素有關,因此不能簡單地將分辨率定為高寬值、低寬值。在光學加工過程中通常是先在工件上鍍上一層金屬再進行加工,在加工過程中,金屬表面容易形成各種非球面等形狀。這種情況下就需要在測量過程中采用高、低分辨率以及不同分辨率之間互相轉換等方式進行分析計算并最終確定測量結果。此外對同一加工要求進行多次測量時,還需按照一定比例計算和分配透鏡位置上反射光與被測物體的距離等因素來確定分辨率值。
4、同一測量設備可進行多種分辨率的對比,以獲取更精確的數據。
例如,在高速檢測中,可以使用標準分辨率、高速分辨率和超高速像素來進行數據對比。在測量小尺寸時,可使用標準分辨率和超高速分辨率進行數據對比,同時也可采用不同分辨率進行數據對比,以獲取更精確的數據。也可利用多色成像傳感器、掃描透鏡、旋轉放大光圈(OFF)和高分辨率目鏡、光路控制(SDI)、高質量圖像處理技術等多種技術手段來獲得更精確的數據。為了獲得更精確的結果,可以利用多色成像傳感器或掃描透鏡、光學傳感器及其他精密光源的組合功能來實現。例如,可以使用多色光感器或掃描透鏡、多光源組合光學傳感系統(tǒng)等來實現精確、高分辨率檢測,提高檢測質量,進而提高檢測設備在加工領域的應用價值。
5、選擇檢測技術要求高的光學測試方法或采用具有較高精密水平、高精度性能及良好操控性的光學檢測設備。
這些光學測試儀的分辨率主要有高寬和中等分辨率。所謂高寬就是指對同一材料的測量結果,通過對同一測量尺寸、不同角度的多個測試儀進行計算得到。所謂中等就是指測試一種材質時,在相同條件下,測試所獲得的數據差異不大;而選擇與之相對應的測試儀進行比較時會發(fā)現其測量結果出現明顯差別。此外,測量精度還取決于所選擇測量設備與被測材料表面間的相對位置關系。
測量方法 編輯本段
使用儀器測量分辨率,可采用照度計、目鏡、經緯儀等來實現。照度計或目鏡可以用來確定測量光反射率,并可以計算光傳播速度;而經緯儀是利用反射鏡來測量光的傳播速度的,但它必須有光學儀器的精密部件來進行光學測量。目前,測量分辨率的方法很多,主要有衍射法、光學折射法和量測法等。
1、衍射法
衍射法是根據光譜分析的原理,利用化學分析的方法測定光在不同光源和物體表面的反射率,然后根據光譜分析進行計算的一種光學方法。在光學儀器中,它可以同時適用于不同波長和介質條件下的透射成像效率等指標。比如,在光學望遠鏡和各種透鏡中均可應用衍射法。衍射法具有簡便、可靠、可重復、精度高等特點,在光學領域得到了廣泛應用。通常根據光譜分析,可以確定出不同介質條件下衍射的大小,即在不同波長和介質條件下,衍射值與光譜分析值之間存在著較大差異。而通過改變衍射物的顏色、純度和亮度來進行光譜分析也是一種較好的方法。
2、光學折射器法
光學折射器法是用來分析光在不同介質中的折射率的方法,由于介質材料的種類不同,折射率率又不同,因而很難確定介質與儀器間的分辨率。在光學儀器中,為了便于直接計算某一光路、角度的相對位置或角度誤差,一般使用波長作為折射器來測距。但由于波長單位很多,對于一個透鏡來說可能有多種形狀,因此要確定一個光路方向上的光折射器,就必須用波長單位來表示,即需要用到光學折射器,而由于光學折射器是通過觀察鏡面中心和光軸上平面在波面上的折射率來確定鏡面中心和光軸之間最大干涉角度和最小干涉角度,因此可以用相應類型的光學折射器進行間接地推算分辨率值。
3、透射倍率法
透射倍率法是測量透射率、鏡面屈光度之間關系的一種方法。它要求透射率不變,但是透射倍率不變,即透射率為(光程值)/(透射率)/(視程),其中光程值比值是關系式:
4、量測法
測量分辨率,常用的方法有測量光柵分辨率和量測光學元件尺寸分辨率。根據光的傳播規(guī)律,量測可以分為三種:一是在光學元件尺寸不變情況下利用量測光學元件尺寸分辨率。二是當某種光學元件尺寸發(fā)生變化,量測光學元件尺寸分辨率也隨之變化。目前一般使用的量測光學元件尺寸分辨率主要是用 Re (光柵)、 S (棱鏡)、 E (波長)、 G (視場)等參數來進行測量。
5、棱鏡法
棱鏡法是將衍射光的棱鏡光路從衍射點直接穿過,并測量其透射率,再根據測量透射率除以光路直徑求得棱鏡光路的最大反射率 M.棱鏡是光學儀器測量分辨率中的關鍵儀器之一。棱鏡能透過一個相當于一個直徑的圓環(huán),反射光首先經過一塊小的光斑,然后又經過圓環(huán)沿圓周方向射出,在每個圓環(huán)中,反射光光路從兩個棱鏡中分次通過,即為反射光的最大反射率 M.棱鏡是用來確定衍射光路大小以及透射率與棱鏡表面光路間差異來計算光學精度的儀器,它有許多種型號,其工作原理是在一組圓環(huán)中設置不同數目的棱鏡鏡筒,通過棱鏡反射光和折射光,通過兩個棱鏡透射光分別從兩個棱鏡鏡筒中通過時要比從兩個棱鏡折射光先通過一個棱鏡后通過就能得到該反射光光路和棱鏡鏡筒上所設置光波長之比,而將該光學單位作為參數輸入軟件中后就可以得到所需光路大小了.然后經過對該光路進行放大測量后計算出光學精度即為棱鏡的光學精度。棱鏡法雖然也是一種有效地提高檢測精度為目的的方法,但它是一比兩反射法具有更高效率和更精確性,因此在實際應用中已逐漸被淘汰。
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